I misuratori e i regolatori di portata massica per gas a tenuta metallica di Bronkhorst sono caratterizzati da una struttura di tenuta metallo-metallo unica e brevettata a livello internazionale, con un'eccellente capacità di richiusura. Inoltre, si distinguono per l'elevata qualità della superficie e sono quindi particolarmente adatti a soddisfare i requisiti dell'industria dei semiconduttori e dell'energia solare, nonché di altre applicazioni di gas ad alta purezza. I blocchi base dei misuratori e dei regolatori di portata massica sono dotati di connessioni maschio da 1/4" a tenuta frontale (VCR).
Misuratore/Controllore di portata massica a tenuta metallica con interfaccia fieldbus
Gli strumenti di oggi sono dotati di una scheda PC digitale che offre un'elevata precisione, un'eccellente stabilità in temperatura e una risposta rapida (tempo di assestamento t98 fino a 500 msec). L'ultimo design di EL-FLOW® è dotato di funzionalità Multi Gas / Multi Range, per offrire ai clienti (OEM) una flessibilità e un'efficienza di processo ottimali. Per la comodità del cliente, Bronkhorst fornisce un software di configurazione facile da usare.
Caratteristiche
Struttura di tenuta esterna richiudibile metallo-metallo (senza anelli)
Elevata qualità superficiale delle parti bagnate
Assemblato in camera bianca
I/O analogici e digitali, con interfaccia integrata opzionale per CANopen®, DeviceNet™, EtherCAT®, PROFIBUS DP, PROFINET, Modbus RTU, ASCII o TCP/IP, EtherNet/IP, POWERLINK o FLOW-BUS
Elevata precisione e ripetibilità
Controllo stabile, anche con volumi di processo variabili
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