Vaporizzatore VDM300

Massima precisione di flusso per l'erogazione di vapore d'acqua deionizzata (DI) ad altissima purezza. Il Vapor Delivery Module (VDM) di Brooks Instrument è un modulo autonomo ad alte prestazioni per l'erogazione estremamente precisa di vapore d'acqua deionizzata (DI) ad altissima purezza. È caratterizzato da un design ad alta efficienza energetica che consente la generazione di vapore a bassa temperatura e ad altissima purezza. Utilizza una tecnica collaudata di erogazione del vapore e la combina con un controllo digitale avanzato e funzioni diagnostiche integrate in un pacchetto piccolo e conveniente. Progettato per processi avanzati di passivazione di strisce e post-incisione dei metalli, il VDM offre una migliore accuratezza, portate più elevate, una gamma di controllo più ampia e un consumo energetico inferiore rispetto ai sistemi di evaporazione flash. Basato su collaudate tecniche di misurazione del flusso di massa termica, il VDM produce vapore in uno stato di vapore non surriscaldato, riducendo gli effetti aggressivi dell'acqua deionizzata, per una migliore affidabilità e un funzionamento più pulito. Il VDM offre funzioni di registrazione dei dati e di diagnostica facili da usare tramite una porta di servizio indipendente e un'interfaccia utente grafica intuitiva. Caratteristiche - Range di flusso: 3 slpm (vapore DIW) - Misurazione diretta del vapore acqueo con una precisione di flusso superiore - Si collega direttamente alla fornitura di acqua deionizzata della casa - Funziona a temperature più basse (stato non surriscaldato) - Design ottimizzato per il lavaggio e lo scarico - Comunicazioni digitali EtherCAT - Interfaccia utente grafica Brooks Expert Support Tool (BEST) Vantaggi - Utilizza la collaudata e affidabile tecnica di misurazione e controllo della portata massica termica - Altamente tollerante alle variazioni della pressione di alimentazione dell'acqua DI fab Migliore resistenza alla corrosione nel percorso bagnato Assicura un funzionamento più pulito