La tecnologia di vaporizzazione avanzata consente una produzione di vapore più pura ed efficiente.
Molti processi industriali e di semiconduttori devono convertire i liquidi, compresi l'acqua e altri precursori liquidi, in vapori altamente controllati e puri.
La vaporizzazione è una transizione di fase dalla fase liquida alla fase gassosa. Un vaporizzatore è quindi un sistema che converte un materiale liquido in uno stato gassoso. Sebbene la vaporizzazione sia ottenuta in diversi modi, tutti i moderni vaporizzatori, come ad esempio quelli ad acqua, hanno alcune caratteristiche in comune
caratteristiche comuni::
Aumento della temperatura e/o riduzione della pressione ambiente del liquido
Sistemi chiusi per catturare e controllare il flusso di vapore
Utilizzano un sistema di feedback e di controllo per regolare la velocità di vaporizzazione
APPLICAZIONI CHIAVE
Vaporizzazione/umidificazione dell'acqua
Deposizione di vapore chimico
Deposito di film sottili per migliorare le caratteristiche termiche, ottiche o di durezza
Vaporizzazione di monomeri per la disposizione di film polimerici sotto vuoto
Generazione di vapore di calibrazione
Vaporizzazione di idrocarburi liquidi
---