Percorso del flusso ad alta purezza. Ripetibilità, stabilità e tempo di risposta superiori.
Il modello Brooks SLA7840 è uno strumento sigillato in metallo ad alta purezza che controlla la pressione mentre misura la portata. Un segnale remoto del trasduttore di pressione, insieme all'elettronica di controllo PID integrale regolabile e a una valvola di controllo coplanare, mantiene la pressione impostata desiderata. La valvola co-planare riduce la sensibilità alle variazioni di pressione e offre tassi di perdita inferiori rispetto ad altri controllori sigillati in metallo, garantendo un processo più stabile nel tempo.
Caratteristiche
- Trasduttore di pressione integrale
- Tempo di risposta: <1 secondo
- Ampia gamma di misurazione del flusso con portate a fondo scala da 0 - 3 sccm a 0 - 30.000 sccm
- Pressione massima 500 psig
- Percorso del flusso con guarnizione interamente in metallo: finitura superficiale massima di 32µ pollici Ra
- La valvola co-planare offre tassi di perdita inferiori
- La capacità multi-gas/multi-gamma consente di memorizzare e pre-programmare fino a 10 calibrazioni di gas e gamme su un singolo dispositivo
- Opzioni di comunicazione DeviceNet® e analogica
Vantaggi
- Il più ampio intervallo di controllo della valvola co-planare riduce la sensibilità alle variazioni di pressione nel processo, garantendo un processo più stabile nel tempo
- Percorso di flusso interamente in metallo bagnato per mantenere condizioni di processo prive di particelle, umidità e contaminazione
- Il dispositivo può anche essere configurato come un controllore di flusso di massa per scopi di calibrazione o test
- La capacità multi-gas/multi-gamma riduce l'inventario
- La maggiore gamma di controllo fornita dalla valvola coplanare riduce il numero di parti necessarie per controllare il processo
- L'ingombro compatto e salvaspazio è facilmente adattabile in un secondo momento
La comunicazione digitale offre una facile messa in servizio e una riduzione del cablaggio del sistema
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