Software di immaginografia digitale MeX

di metrologiadi misuraSEM

MeX è un pacchetto software indipendente che trasforma qualsiasi SEM con imaging digitale in un vero e proprio dispositivo di metrologia delle superfici. Utilizzando immagini stereoscopiche, il software recupera automaticamente le informazioni 3D e visualizza un dataset 3D molto accurato, denso e robusto che viene poi utilizzato per eseguire indagini metrologiche tracciabili. I risultati sono ottenuti indipendentemente dall'ingrandimento SEM e consentono una metrologia a livelli macro e micro. Non è necessario alcun hardware aggiuntivo per eseguire MeX, può essere utilizzato con qualsiasi SEM. Grazie all'esclusiva routine di autocalibrazione, i dati di calibrazione vengono raffinati automaticamente. In questo modo solo MeX consente di effettuare misurazioni 3D tracciabili a qualsiasi ingrandimento nel SEM.