Analizzatore di ossigeno interstiziale SiBrickScan (SBS) Silicon Ingot Analyzer

di concentrazioneper lingotti di silicio

SiBrickScan (SBS) è un sistema at-line dedicato per la quantificazione FTIR dell'ossigeno interstiziale in lingotti completi di silicio, con conseguente preciso profilo di concentrazione lungo l'asse longitudinale. L'accesso a queste informazioni senza dover tagliare wafer o preparare campioni di prova è un grande vantaggio economico: qualificare i singoli lingotti prima del taglio e ottimizzare il processo di cristallizzazione del Si! Caratteristiche uniche di SBS: - Elevata sensibilità con limiti di rilevazione dell'ossigeno ottenibili < 2 ppma - Calibrazione di alta qualità direttamente collegata ad ASTM/SEMI 1188 - Disponibile per lingotti quadrati e cilindrici di diverso diametro - Innovativo percorso del fascio ad alta sensibilità con campione di riferimento integrato - Interfaccia utente intuitiva e confortevole - Valutazione automatizzata dei dati - Design robusto e compatibile con l'industria, con azionamento lineare preciso - Rivelatore a infrarossi libero Liquid N2 free