Macchina per deposizione PECVD DynaJet

PVDper polverizzazione catodicadi pellicola metallizzata

Il DynaJet è il più nuovo membro della famiglia di Dyna di metallizzazione dei sistemi. Questo lotto che farfuglia il sistema combina il meglio di tutta la competenza fisica Bühler di applicazione a spruzzo (PVD) deve offrire. I catodi rotabili forniscono una nuova dimensione nella produttività. L'alta utilizzazione dell'obiettivo offre più a basso costo della proprietà dovuto una vita lunga dell'obiettivo. Il sistema di pompaggio turbomolecular (TMP) ha bisogno soltanto di una frazione dell'energia elettrica e dell'acqua di raffreddamento richieste dai sistemi convenzionali. Tutto questo provoca una riduzione significativa dei costi annuali di proprietà. Vita lunga e grazie veloci di scambio dell'obiettivo a progettazione innovatrice - La nuova progettazione dell'obiettivo offre un'utilizzazione dell'obiettivo di 70- 80% rispetto alla versione precedente, che ha offerto l'utilizzazione di appena 25%. Ulteriormente, la progettazione rotabile del catodo può aumentare la vita dell'obiettivo fino a quattro volte. I processi migliorati forniscono il rivestimento ad alta velocità e la migliore omogeneità di PVD - Il catodo rotabile lungo e la garanzia ottimizzata della cryo-bobina la migliore omogeneità di PVD. Un semi-trasparente farfuglia lo strato è un'altra applicazione possibile. La gestione ottimizzata dell'arco di Bühler assicura un processo stabile farfugliare. Le novità nel processo chimico plasma-migliorato di applicazione a spruzzo (PECVD) permettono al superiore rivestimento ad alta velocità. Un elemento chiave ulteriore è il sistema di pompaggio a tre fasi efficiente di pre-vuoto. Il nuovo sistema di pompaggio offre il rendimento energetico eccellente - Il consumo di energia medio è un aspetto importante di costo della proprietà. Il nuovo sistema di pompaggio del DynaJet con TMP conserva 800000 kW/h durante 10 anni rispetto ad altre macchine sul mercato.