Efficiente:
economicamente vantaggiosa, ciclo di funzionamento lungo, ad alta efficienza energetica
Di facile manutenzione:
lunghi intervalli di manutenzione
Affidabile:
affidabilità operativa
Flessibile:
orientata all'applicazione
Silenziosa:
livello di rumore < 62 dB(A)
COBRA BC 0100 F è la nuova pompa per vuoto a vite a secco per l'evacuazione delle camere “load lock” e per altri processi esigenti della produzione di celle fotovoltaiche, pannelli per schermi piatti e semiconduttori. Grazie all'efficiente raffreddamento ad aria ed ad una capacità di aspirazione che è la più alta nella sua classe di prestazioni, questa pompa per vuoto è ideale per applicazioni che richiedono una generazione del vuoto efficiente, rapida ed affidabile. La tecnologia delle pompe per vuoto COBRA è senza olio e senza contatto, consentendo l'evacuazione del prodotto senza alcuna contaminazione.
COBRA BC 0100 F è provvista di un motore altamente efficiente con una modalità stand-by che offre un grande potenziale di risparmi energetici.
La realizzazione compatta di COBRA BC 0100 F richiede uno spazio alquanto ridotto e il suo bassissimo fabbisogno energetico contribuisce a contenere al minimo i costi di esercizio.
Applicazioni
High-density plasma CVD (HDP CVD)
Rapid thermal processing (RTP)
Sub-atmospheric CVD (SACVD)
Metal-organic CVD (MOCVD)
Plasma-enhanced CVD (PECVD)
Low-pressure CVD (LPCVD)
Atomic layer deposition (ALD)
Load-lock applications