Sistema di misurazione di planarità

otticosenza contatto

Per qualsiasi superficie che richieda un'eccellente planarità inferiore a 100 micron, sono disponibili sul mercato sistemi di ispezione ottica dell'asse Z che utilizzano una tavola XY. Questi sistemi hanno un prezzo di listino elevato (circa 30.000 dollari), soprattutto quando le dimensioni del pezzo sono superiori a 300 mm. In genere nella produzione, dopo la rettifica, la superficie è ripetibilmente ben definita e l'ispezione al 100% potrebbe non essere necessaria. L'applicazione di una piastra di ispezione della planarità a più punti con 32 punti disposti spazialmente per accentuare la deviazione massima nota da un piano perfetto consente una soluzione molto più economica, ma che produce un risultato di planarità spaziale del 90%. Implementando una soluzione di multiplexing dei sensori senza contatto su un array di sensori ben posizionato e utilizzando l'applicazione software Capacitec Bargrafx™ da 16 a 32 punti, è possibile ottenere i profili di planarità a metà prezzo.