Scanner 3D

di misuraa luce bianca

Feture * - Scanner 3D a microprofondità * - Misurazione metrologica ad alta velocità/non a contatto * - Analisi delle superfici * - Non trasparente/trasparente Applicazioni, * Touch panel / Pannello solare / Wafer * - Microelettromeccanico (MEMS) * - Circuito stampato ad alta densità * - Pacchetto IC * - Una varietà di funzioni di misura: contorno della microstruttura, dimensioni, profondità del foro, spessore del film difettoso, differenza di luce, angolo, rugosità, planarità -Come funziona La luce bianca è di breve durata - Le migliori frange di interferenza si producono solo nella posizione di messa a fuoco, l'interferenza causata dalla luce fuori fuoco e dalla luce parassita viene esclusa e la posizione della migliore frangia di interferenza viene registrata con la "telecamera CCD di tipo superficiale ad alta velocità". Non è necessaria una scansione punto per punto e lo "scanner verticale" viene utilizzato per spostare l'obiettivo e registrare la posizione in altezza; in questo modo è possibile riprodurre la topografia superficiale 3D dell'oggetto di misura.