Descrizione
La fase piezoelettrica XY200M è basata sugli azionatori di APA 200M e possiede un'alta rigidezza. Le applicazioni includono il posizionamento della maschera, la forza atomica o i microscopi d'esplorazione di traforo.
Opzioni disponibili
Gli estensimetri; Eddy Current Sensors, vuoto
Stato
Norma
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