Sistema laser ad eccimeri LineBeampulsatoa stato solidoultravioletto
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Caratteristiche
- Modo di funzionamento
- pulsato
- Tecnologia
- a stato solido
- Spettro
- ultravioletto
- Applicazioni
- di processo
- Altre caratteristicfhe
- ad eccimeri
- Potenza
5.400 W
- Lunghezza d'onda
308 nm, 355 nm
Descrizione
I sistemi LineBeam sono la tecnologia ottica abilitante per la produzione di massa di backplane LTPS su pannelli a substrato di grandi dimensioni con la massima resa.
Forniscono profili di fasci di linea lunghi fino a 1500 mm per pannelli di dimensioni fino a Gen 10,5. L'omogeneità del fascio sull'asse corto e lungo garantisce la massima produttività e il massimo utilizzo del fascio. La superiore stabilità degli impulsi e l'elevata profondità di campo garantiscono un'ampia finestra di processo.
LINEBEAM - ALCUNI PARAMETRI DI PRESTAZIONE CHIAVE
Approfittate del profilo del fascio "top hat" di LineBeam, con un'eccellente omogeneità negli assi corti e lunghi, il tutto a una lunghezza d'onda corta di 308 nm o 355 nm.
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Cataloghi
MicroLas
6 Pagine
Excimer Catalog 2016
52 Pagine
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.