Piastra a vuoto in ceramica PLASMAPURE™ ALUMINA

Componenti in ceramica per litografia e ispezione di wafer Perfetti per le applicazioni di litografia e manipolazione dei wafer di nuova generazione, i nostri componenti ceramici ultrapuri garantiscono una contaminazione minima e prestazioni di durata eccezionalmente lunga. COMPONENTI PER LITOGRAFIA E ISPEZIONE WAFER Resistenti agli attacchi chimici e termicamente stabili, i nostri componenti ceramici ad alta purezza sono ideali per la lavorazione litografica, la manipolazione dei wafer (bassa contaminazione) e l'ispezione dei wafer (estrema durata e durezza, stabilità dimensionale). Le applicazioni includono: Substrati per fotomaschere Mandrini per wafer Componenti di palcoscenici per wafer Tavoli per wafer MATERIALI CONSIGLIATI PER LA LITOGRAFIA E L'ISPEZIONE DEI WAFER Allumina di elevata purezza Carburo di silicio ricristallizzato UltraClean Carburi di silicio sinterizzati direttamente CeraSiC, UltraSiC SUBSTRATI PER FOTOMASCHERE I substrati per fotomaschere CoorsTek sono realizzati in vetro di quarzo sintetico di elevata purezza per offrire una trasmittanza superiore ai raggi UV e alla luce visibile, stabilità termica, isolamento elettrico, bassa birifrangenza e stabilità chimica duratura. La tecnologia di lucidatura avanzata e scalabile rende questi substrati per fotomaschere ideali per la modellazione microscopica, dai wafer ai grandi schermi piatti (FPD). WAFER A VUOTO I nostri mandrini per wafer ultrapiatti in ceramica sotto vuoto, i mandrini passo-passo, i mandrini porosi e i mandrini elettrostatici migliorano la gestione della resa nella lavorazione dei wafer di semiconduttori. Le configurazioni a basso contatto con la superficie riducono al minimo il rischio di particelle sul lato posteriore per le applicazioni sensibili. I nostri mandrini per wafer forniscono: Funzionalità ultrapiatte Lucidatura a specchio Eccezionale leggerezza Elevata rigidità Bassa espansione termica Diametro di 300 mm e oltre Estrema resistenza all'usura