Macchina di trattamento di superficie plasma Bell Jar 35

sottovutoto

Si definisce ‘camera’ la camera del plasma o recipiente in cui il gas di processo si trova a bassa pressione. La camera è concepita come recipiente a pressione. È costituita da un materiale insensibile ai gas di processo utilizzati per l’acidatura, spesso in acciaio inossidabile. Per alcuni processi si richiede l'uso di un contenitore in vetro di quarzo di elevata purezza. Le camere (i recipienti) standard sono in acciaio inossidabile Nel sistema di ricerca Bell Jar la camera del plasma è una campana in vetro di quarzo di elevata purezza