Piastra di nanoposizionamento Z Model ZSA-1000C

verticalepiezoelettrica1 asse

Lo stadio piezoelettrico ZSA-1000C di DSM è caratterizzato da un movimento a guida di flessione su una corsa verticale di 1 mm per i processi di scansione, metrologia e ispezione. Il design cinematico stabile e rigido favorisce il parallelismo nel movimento di uscita con un minimo di rollio e inclinazione e una reattività dinamica per un'eccellente stabilità e controllo della posizione. Lo stadio può essere abbinato al DSM SA-500 di DSM per il controllo ad anello chiuso con una sonda capacitiva ad alta risoluzione per fornire una stabilità di posizione di 20 nm e profili di velocità molto stabili nelle regioni di scansione specificate. - Corsa a circuito aperto: 1050 micron ± 10% - Corsa a circuito chiuso: 1000 micron ± 10% - Risoluzione a circuito chiuso: 20 nanometri tipici Rigidezza: 0,4 N/micron ± 10% - Linearità: 0,12% tipico - Runout (Ɵх, Ɵу): <100 micro radianti tipici - Freq risonante a vuoto: 200 Hz ± 10% - Freq risonante @100g: 150 Hz ± 10 % - Capacità di forza di spinta e trazione: 75/150 N Max - Capacità di carico: 75 N Max - Forza laterale: 10 N Max - Capacità elettrica: 30 micro Farad ± 10% - Larghezza x Lunghezza: 62,5 x 125 mm - Altezza: 25,1 ± 0,1 mm - Messa: 1 chilogrammo ± 10% - Materiale: Acciaio inox - Lunghezza del cavo: 1,5 metri La struttura dello ZSA-1000C può essere facilmente adattata all'uso di una varietà di sensori di spostamento, comprese le sonde capacitive (standard) per una reale capacità di controllo del movimento con nanoposizione. Il servoamplificatore SA-500 di DSM fornisce un controllo autonomo ad anello chiuso con comunicazione seriale, feedback analogico o digitale e I/O digitale per ulteriori capacità di controllo e comunicazione.