Piastra di posizionamento XYZ

linearepiezoelettrica3 assi

una fase di 3 assi per il vuoto Quando uno dei clienti del DSM ha richiesto un sistema di posizionamento giroscopico su ordinazione, DSM leveraged il disegno flessione-basato dei relativi azionatori piezo-elettrici di flextensional per generare le fasi indipendenti di X, di Y e di Z. La X e Y risultanti organizza ciascuna forniscono 200 micron della corsa e l'asse di Z ha un colpo di 500 micron. L'assemblea originale della fase è stata progettata per la compatibilità di vuoto ed è stata fornita dei modelli del benchtop dell'amplificatore piezo-elettrico lineare di VF del DSM. Il disegno di base dei sistemi della fase è evolutivo più piccole/più grandi possibilità di spostamento. Come un proseguimento consegnabile al sistema originale e ad anello aperto di XYZ qui sopra, cliente del DSM ha chiesto la possibilità a circuito chiuso per le asce di Y e di X. DSM ha compreso le sonde capacitive ed ha utilizzato i servo amplificatori lineari SA-100 per fornire il servocomando autonomo. Lle 24 entrate analogiche del bit accettano il segnale dell'obiettivo di posizione e l'ingresso/uscita digitale fornisce le bandierine per "in-gamma" e gli inneschi dell'acquisizione dei dati.