Mandrino motorizzato di lavorazione EZ-8212

di raffreddamentoper rettificadi misura

Il mandrino EZ-8212 è dotato di un potente motore di coppia (Tecnotion) e raggiunge velocità fino a 5.000 giri/min. A velocità elevate, il cuscinetto ad aria deve essere raffreddato. A tale scopo, nel rotore sono presenti quattro canali di raffreddamento, che possono essere alimentati tramite un raccordo rotante esterno. L'ingresso del refrigerante si trova sul retro del mandrino, l'uscita sulla punta del mandrino; l'acqua di raffreddamento in uscita può quindi essere utilizzata per raffreddare il substrato. Il motore è raffreddato da un circuito di raffreddamento separato; entrambe le porte sono situate sul retro del mandrino. 2 canali per i mezzi gassosi (vuoto o aria compressa) sono alimentati al naso del mandrino tramite un raccordo rotante integrato. Il mandrino è stato sviluppato per applicazioni di rettifica di wafer. Una tenuta a labirinto garantisce un funzionamento perfetto in ambienti non puliti. Con un errore di movimento radiale e assiale inferiore a 200 nm, il mandrino è adatto a un'ampia gamma di processi di lavorazione ad alta precisione. Il mandrino è dotato di un sistema di misurazione angolare incrementale (Heidenhain TTR ERM) con 512 linee. Non ci sono restrizioni per quanto riguarda la posizione di montaggio. Applicazioni: Lavorazione di wafer, in sistemi di prova, applicazioni con elevati requisiti di concentricità.