Il sistema E2426 comprende un controllore piezoelettrico a feedback automatico modello E2401 e uno stadio di flessione XYZ serie MDE125 Elliot Gold™ dotato di attuatori piezoelettrici che forniscono 100 µm di piezoelettricità e 2 mm di regolazione manuale in ciascuno dei tre assi.
Caratteristiche
- Modulo profilatore (vedere modalità profilatore DALi 4)
- Controllore piezoelettrico a 3 assi per attuatori da 150 V (E1100)
- Funzionamento tramite software o comandi manuali
- Ricerca e ottimizzazione di livello superiore
- Memorizzazione di set di parametri per ogni allineamento
- Controllo completo dei parametri di scansione
- Interfaccia USB
- Driver LabVIEW™ inclusi
- Display LCD chiaro
- Visualizzazione del misuratore di potenza S/W
- Design ultra-stabile brevettato* Stadio di flessione XYZ
- Regolatori piezoelettrici XYZ
- Configurazione destra (sinistra disponibile su ordinazione)
- Corsa di regolazione piezoelettrica di 100 µm
- Risoluzione di 50 nm
- 2 mm di corsa manuale grossolana
- Scanalature di allineamento ortogonali
- Capacità di carico di 4,5 kg
Specifiche tecniche
Per una descrizione completa delle prestazioni, consultare le schede dei singoli prodotti.
E2401 DAli 4 Profiler Sistema di allineamento automatico con interfaccia USB e ingresso per rilevatore esterno
E1100 Driver piezoelettrico
MDE125 Stadio di flessione XYZ della serie Elliot Gold™ con regolatori piezoelettrici da 100um
Software DAli 4 (chiave USB)
# Include il nuovo modulo Profiler per DALi4 per la funzione di tracciamento dell'intensità e della posizione
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