Gruppo di degassamento LiquidLens™ LLD2
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Descrizione
Sistema di degasaggio LiquidLens™ LLD2 UPW UPW
Degasaggio UPW per scanner per litografia ad immersione
Il sistema LiquidLens LLD2 fornisce stabilità e purezza della lente fluida riducendo il gas disciolto e monitorando la qualità UPW
Mantiene continuamente la temperatura e il livello di pressione dell'uscita UPW stream
Assicura la sicurezza del processo e della macchina grazie agli allarmi di sicurezza e ai sensori di perdita
Fornisce il monitoraggio in tempo reale dei parametri critici sullo strumento e sul sistema di monitoraggio centrale dei clienti.
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.