Modulo di controllo per wafer VULCANO XYT
3 assi

modulo di controllo per wafer
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Caratteristiche

Specificazioni
3 assi, per wafer

Descrizione

La piattaforma VULCANO XYT è costituita dalla piattaforma standard VULCANO XY dotata del modulo rotante RTTB che comprende un encoder ad alta risoluzione accoppiato ad un eccezionale cuscinetto meccanico. L'uso di questa piattaforma è adatto per, ma non limitato a: - Applicazioni di controllo di processo Wafer come la metrologia Overlay, la metrologia delle dimensioni critiche e la metrologia a film sottile - Back-end: processi specifici di flip-chip su grandi pannelli/substrati Caratteristiche - Ingombro compatto - Stabilità della posizione del nanometro - Tempi brevi di trasloco e di assestamento - Elevata dinamica - Elevata ripetibilità bidirezionale - Elevata stabilità di posizione - Compatibilità camera bianca in classe 1 ISO

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BIEMH 2024
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3-07 giu 2024 Bilbao (Spagna) Hall 6 - Stand C-04

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    * I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.