La piattaforma VULCANO XYT è costituita dalla piattaforma standard VULCANO XY dotata del modulo rotante RTTB che comprende un encoder ad alta risoluzione accoppiato ad un eccezionale cuscinetto meccanico.
L'uso di questa piattaforma è adatto per, ma non limitato a:
- Applicazioni di controllo di processo Wafer come la metrologia Overlay, la metrologia delle dimensioni critiche e la metrologia a film sottile
- Back-end: processi specifici di flip-chip su grandi pannelli/substrati
Caratteristiche
- Ingombro compatto
- Stabilità della posizione del nanometro
- Tempi brevi di trasloco e di assestamento
- Elevata dinamica
- Elevata ripetibilità bidirezionale
- Elevata stabilità di posizione
- Compatibilità camera bianca in classe 1 ISO
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