UL1000 Fab
Rivelatore di perdite di elio a secco UL1000 Fab
Una nuova dimensione nella stabilità e nella risposta alle perdite fino a 10 -12 atm/css. L'elio mobile INFICON UL1000 Fab
Il Leak Detector è progettato specificamente per soddisfare i requisiti delle applicazioni a semiconduttori. Rendendo la facilità d'uso, l'efficienza di rilevamento delle perdite e la mobilità all'interno delle priorità del sistema dell'ambiente fab, l'UL1000 Fab fornisce una risposta estremamente rapida del tasso di perdita in tutti i campi di misura.
L'UL1000 Fab offre una stabilità del tasso di perdita mai vista prima d'ora fino a < 5×10-12 atm cc/s attraverso un'architettura del vuoto ottimizzata che combina un'elevata velocità di pompaggio dell'elio e alte pressioni di ingresso. Il software proprietario, I-CAL (Intelligent Calculation Algorithm of Leak Rates), permette di dimenticare i lunghi tempi di risposta nelle gamme a basso tasso di perdita, poiché l'UL1000 Fab risponde rapidamente a tutte le gamme di tasso di perdita.
Con l'aggiunta dell'accessorio TC1000 Test Chamber, il rivelatore di perdite all'elio Fab Fab UL1000 fornisce un test facile, veloce e accurato di parti sigillate ermeticamente come pacchetti IC, cristalli di quarzo e diodi laser (secondo MIL-STD 883, Metodo 1014).
Caratteristiche
ampio campo di misura nell'arco di 15 decenni
tempi di pompaggio e di risposta brevi
alloggiamento mobile interamente in metallo per una maggiore comodità e una manovrabilità senza compromessi
I-CAL per garantire il più rapido tempo di risposta alle perdite in tutti i campi di misura
funzione zero con allineamento automatico del tempo di integrazione per risultati di prova rapidi e affidabili
design intelligente del vuoto con robusta pompa a coclea e pompa turbomolecolare a più ingressi che fornisce un'elevata velocità di pompaggio dell'elio con un'elevata compressione
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