Misuratore di vuoto di Pirani BPG402

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BPG402 Da ATM a misuratore di vuoto ultra alto Il misuratore combinato INFICON Bayard-Alpert Pirani, BPG402-S, funziona come due misuratori in un'unica unità compatta che misura da 5×10-10 mbar all'atmosfera (3,8×10-10 Torr all'atmosfera). La combinazione di tecnologie riduce la complessità dell'installazione, della configurazione e dell'integrazione. Scegliere il BPG402-S con due filamenti di iridio rivestiti di ossido di ittrio per un processo accessibile e ripetibile per le misure di pressione di base in un unico pacchetto economico. Gli elementi di rilevamento con i dati di taratura a bordo garantiscono un'elevata riproducibilità durante lo scambio di sensori. Vantaggi Campo di misura estremamente ampio da 5×10-10 mbar all'atmosfera (3,8×10-10 Torr all'atmosfera) Eccellente ripetibilità nel campo di pressione di processo da 10-8 ... 10-2 mbar del 5% L'interblocco Pirani protegge il filamento dal burnout prematuro Due filamenti di iridio rivestiti di ossido di ittrio a lunga durata Display grafico opzionale e interfacce Fieldbus disponibili La regolazione automatica dell'alto vuoto Pirani riduce gli interventi dell'operatore L'elemento sensibile facile da scambiare con i dati di taratura a bordo garantisce un'elevata riproducibilità Conformità RoHS Applicazioni tipiche Misurazione della pressione nel processo dei semiconduttori e nelle camere di trasferimento Rivestimento industriale Misurazione e controllo generale del vuoto nel campo da basso ad altissimo vuoto