CDG045D2
Il misuratore di capacità del diaframma a membrana INFICON Edge Capacitance Gauge è uno strumento di misura del vuoto ad alta precisione progettato per ambienti di produzione difficili. Il collaudato sensore ceramico ultra-puro, resistente alla corrosione e a temperatura controllata, offre una stabilità di campata superiore per molti anni abbinato ad una stabilità allo stato dell'arte dello zero. Edge viene fornito con l'esclusivo schermo del sensore brevettato INFICON che protegge il calibro da sottoprodotti di processo indesiderati. L'elettronica avanzata offre un'ampia gamma di condizionamento del segnale configurabile per tutte le applicazioni e l'interfaccia opzionale per bus di campo EtherCAT. L'innovativo concetto di riscaldamento consente di raffreddare la superficie al tatto e di risparmiare spazio prezioso per gli utensili. INFICON Edge è il più piccolo strumento di misura del vuoto del suo genere.
Vantaggi
Compatto, fa risparmiare spazio prezioso per gli utensili
Facile integrazione, EtherCAT, ampia varietà di fondo scala e flange, standard con due set point
Semplice comando di zero con un solo pulsante o segnale remoto, offset di zero regolabile
Porta diagnostica per una rapida assistenza e manutenzione
Due anni di garanzia, durata più lunga con un concetto di riscaldamento avanzato e protezione del manometro
Nessuna ricalibrazione a lungo termine grazie all'eccellente stabilità e ripetibilità del segnale, anche in applicazioni al plasma difficili
Conformità e standard: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
Applicazioni tipiche
CVD, etch, PVD e altri processi di produzione di semiconduttori
---