Sistema di ispezione di superficie di vetro GWI

per wafer

Il sistema GWI è stato costruito per rilevare difetti nei wafer di vetro nelle prime fasi del ciclo produttivo. Il sistema è basato su una smart camera ad alta risoluzione per soddisfare la precisione richiesta nella rilevazione dei difetti. La valutazione completa del wafer viene effettuata con la smart camera. L'immagine della cialda di vetro viene scattata e viene elaborata immediatamente nella fotocamera. I dati e le immagini risultanti vengono trasferiti al PLC. C'è anche un'opzione per collegare un display alla fotocamera per vedere i risultati sullo schermo. Per eseguire il processo di valutazione sono disponibili le connessioni Ethernet, RS232 e Power I/O. Il Power I/O contiene anche l'interfaccia RS232. Il sistema GWI rileva gli errori di superficie dei wafer di vetro come graffi, particelle ed errori del substrato.