Sistema di stoccaggio e movimentazione automatico EUV

Questi sistemi di manipolazione per i reticoli EUV di Fabmatics soddisfano i requisiti di affidabilità e pulizia nella manipolazione dei reticoli EUV. Essendo una speciale tecnologia di illuminazione utilizzata per la produzione di elementi costruttivi microelettronici di alto livello, la tecnologia EUV impone i più elevati standard di affidabilità e pulizia nella manipolazione dei reticoli EUV. Le soluzioni Fabmatics sono conformi a questi standard. I sistemi di manipolazione dei reticoli EUV sono disponibili come dispositivi autonomi, ad esempio come selezionatori di reticoli, e come moduli frontali di apparecchiature, ad esempio come sistemi di carico. Una porta di carico Fabmatics per le cialde RSP e le cialde doppie, un'ampia gamma di moduli di rilevamento, pinze e attrezzature flip sono componenti importanti.