FUD-1 Model-12 (semi. /LCD) rimane gli stessi vantaggi come Model-12.It inoltre caratterizza un tipo sensore delle cellule per il semiconduttore/le produzioni LCD. Il tipo sensore delle cellule è molto piccolo ed il materiale è PFA da applicarsi al requisito dal semiconduttore/dalle produzioni LCD.
Piccolo tipo trasduttore delle cellule
Nessuna contaminazione [materiale: PFA]
Nessuna sostituzione periodica ha richiesto
Vantaggi
Alta precisione e stabilità
Quasi meintenance della tassa
Installazione facile
Operazione facile
Appiactions
Perossido d'idrogeno in residui del CMP
Controllo di diluizione per H2O2, TMAH, HNO3, H2SO4, l'HCl, ecc.
Monitoraggio di concentrazione dell'HF, di NH4OH, del KOH, di IPA, ecc.
Controllo di tasso incissione all'acquaforte dell'HF, di H2SO4, ecc.
Principio
La velocità ultrasonica in un liquido è determinata esattamente da concentrazione e dalle misure temperature.FUD-1 la velocità e il tempearture e dai calcurates la concentrazione del liquido dalla velocità e il tempearture con la curva di calibratura immagazzinata nella ROM di dati.
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