Detergenti post-incisione acquosi compatibili con alluminio, rame e leghe metalliche avanzate, strati antiriflesso, SiO2 e dielettrici a bassissimo contenuto di k
Detergenti post-incisione acquosi altamente efficaci, compatibili con i processi BEOL di Al, Cu e ultra low-k.
Caratteristiche e vantaggi
Ampia gamma di processi
Compatibile con le applicazioni a spruzzo e in batch
Vantaggio in termini di costi di proprietà rispetto ai detergenti a base di solventi - Risciacquo diretto con acqua DI
Elimina i costi aggiuntivi dei prodotti chimici di risciacquo e aumenta la produttività eliminando i passaggi chimici
Sicuro e facile da usare
Compatibile con i materiali delle apparecchiature di processo avanzate
Compatibilità superiore con metalli, ILD e ULK
La purezza del prodotto è continuamente verificata attraverso l'uso di strumenti analitici all'avanguardia
Prodotto e confezionato in stabilimenti negli Stati Uniti e in Asia
Gradi diversi a seconda del tipo di mordenzante
Alcuni prodotti sono disponibili con o senza tensioattivo
Per i diversi tipi di mordenzante, consultare la nostra panoramica delle applicazioni
Opzioni di confezionamento:
bottiglie da 4 x 4L
fusti da 200 l (a perdere o a rendere)
totes da 1000L (a perdere o a rendere)
Consegna alla rinfusa (a seconda della località)
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