Gli etaloni di silicio solido sono spesso utilizzati come compensatori di dispersione accordabili e come discriminatori ottici di frequenza. Una rapida sintonizzazione e una distribuzione uniforme del calore possono essere ottenute controllando le proprietà di trasmissione dell'etalon attraverso la modulazione dell'indice di rifrazione.
Gli etaloni solidi sono due piastre parallele ma con un rivestimento speciale per creare la cavità. Le cavità di alta qualità si traducono in una trasmissione più elevata, una dimensione compatta e un costo inferiore. Questi etaloni hanno il potenziale per un'elevata soglia di danno e sono particolarmente buoni per l'uso in intercapedine.
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