Macchina per deposizione PECVD DLC800

Panoramica
Attrezzatura compatta per rivestimenti DLC destinata alla produzione di piccoli lotti di rivestimenti a bassa frizione e resistente all'usura. Huasheng DLC800 è una macchina compatta progettata per la produzione industriale in piccoli lotti. Combina sputtering magnetronico (MS) e PECVD per depositare rivestimenti Cr/WC/a-C:H DLC con bassa frizione, buona resistenza all'usura, superficie liscia e buona adesione del film.

Caratteristiche principali

• Progettazione della camera compatta per minimizzare l'ingombro e supportare flussi produttivi flessibili per piccoli lotti.
• Processo ibrido MS + PECVD per film DLC Cr/WC/a-C:H con morfologia liscia e struttura del film affidabile.
• Pulizia al plasma e incisione SET per migliorare l'adesione substrato–rivestimento.
• Controllo automatico dei processi, componenti modulari e manutenzione accessibile per un'operatività semplificata.

Punti salienti delle prestazioni

• Spessore tipico del rivestimento: 2–4 µm
• Coefficiente di attrito basso: ≤0,1
• Durezza del rivestimento: ≈2500 HV
• Temperatura tipica di deposizione: <200°C

Parametri del prodotto
Modello: DLC800
Tecnologia di rivestimento: MS + PECVD
Incisione: SET
Dimensioni: L4850 × W1600 × H2400 mm
Volume camera: 0,8 m³
Area efficace di rivestimento: Φ650 × 400 mm
Temperatura di deposizione: <200°C
Capacità: Su richiesta
Carico massimo: 500 kg
Diametro mandrino: Φ170 mm
Tempo di lavorazione: 6–8 h

Caratteristiche / specifiche tecniche

• Modello: DLC800
• Rivestimento: Cr/WC/a-C:H DLC (MS + PECVD)
• Spessore tipico: 2–4 µm
• Coefficiente di attrito: ≤0,1
• Durezza: ≈2500 HV
• Area efficace di rivestimento: Φ650 × 400 mm
• Carico massimo: 500 kg
• Volume camera: 0,8 m³
• Temperatura di deposizione: <200°C
• Tempo di lavorazione per lotto: 6–8 h