Il sistema di misurazione dello spessore Multipoint NanoGauge C11295 è un sistema di misurazione dello spessore del film che utilizza l'interferometria spettrale. È progettato per misurare lo spessore del film come parte del processo di produzione dei semiconduttori, così come per il controllo di qualità dell'APC e dei film che sono montati sulle apparecchiature di produzione dei semiconduttori. Consente la misurazione multicanale in tempo reale, che fornisce la misurazione multicanale simultanea e la misurazione multipunto sulle superfici del film. Allo stesso tempo può anche misurare la riflettività (trasmittanza), il colore dell'oggetto e i loro cambiamenti nel tempo.
Caratteristiche
- Misura simultanea dello spessore del film fino a 15 punti
- Funzionamento senza riferimenti
- Misura stabile a lungo termine grazie alla correzione della fluttuazione dell'intensità della luce
- Funzione di allarme e avvertimento (pass/fail)
- Misure di riflettanza (trasmittanza) e spettro
- Alta velocità e alta precisione
- Misurazione in tempo reale
- Misura precisa del film fluttuante
- Analisi delle costanti ottiche (n, k)
- Controllo esterno disponibile
Specifiche
Numero di tipo: C11295-XX*1
Gamma di spessore del film misurabile (vetro): da 20 nm a 100 μm*2
Riproducibilità della misura (vetro): 0,02 nm*3 *4
Precisione della misura (vetro): ±0,4 %*4 *5
Sorgente luminosa: sorgente luminosa Xenon *6
Lunghezza d'onda di misurazione: da 320 nm a 1000 nm
Dimensione dello spot: Circa φ1 mm*4
Distanza di lavoro: 10 mm*4
Numero di strati misurabili: Max. 10 strati
Analisi : Analisi FFT, Analisi Fitting
Tempo di misurazione: 19 ms/punto*7
Forma del connettore della fibra: SMA
Numero di punti di misura: da 2 a 15
Funzione di controllo esterno : Ethernet
Interfaccia : USB 2.0 (Unità principale - Computer)
RS-232C (Sorgente luminosa - Computer)
Alimentazione : Da AC100 V a AC240 V, 50 Hz/60 Hz
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