Sistema di misurazione ottico C12562-04

di spessorea calibroper film

Il sistema di misurazione dello spessore Optical NanoGauge C12562 è un sistema compatto, salvaspazio e senza contatto per la misurazione dello spessore dei film, progettato per essere facilmente installato nelle apparecchiature dove è necessario. Nell'industria dei semiconduttori, la misurazione dello spessore del silicio è essenziale a causa della diffusione della tecnologia through-silicon via; e nell'industria della produzione di film, i film dello strato di adesione vengono resi sempre più sottili per soddisfare le specifiche del prodotto. Quindi queste industrie ora richiedono una precisione ancora maggiore nelle misure di spessore che vanno da 1 μm a 300 μm. Il C12562 permette di effettuare misurazioni accurate in un'ampia gamma di spessori da 500 nm a 300 μm che includono lo spessore del rivestimento del film sottile e del substrato del film, nonché lo spessore totale. Il C12562 offre anche misurazioni rapide fino a 100 Hz, rendendolo ideale per le misurazioni su linee di produzione ad alta velocità. Caratteristiche - Effettua misurazioni che vanno dallo spessore del film sottile allo spessore totale - Riduzione del tempo di ciclo (max. 100 Hz) - Trigger esterno migliorato (si adatta alla misurazione ad alta velocità) - Misura semplificata aggiunta al software - Capace di entrambe le analisi di superficie - Misura precisa del film fluttuante - Analisi delle costanti ottiche (n, k) - Controllo esterno disponibile Specifiche Numero di tipo: C12562-04 Gamma di spessore del film misurabile (vetro): da 500 nm a 300 μm*1 Riproducibilità della misura (vetro): 0,02 nm*2 *3 Precisione della misura (vetro): ±0,4 %*3 *4 Sorgente luminosa: Sorgente luminosa alogena Dimensione dello spot: Circa φ1 mm*3 Distanza di lavoro: 10 mm*3 Numero di strati misurabili: Max. 10 strati Analisi: Analisi FFT, analisi Fitting, analisi della costante ottica Tempo di misura: 3 ms/punto*5 Forma del connettore della fibra: FC