MiNY PL è un sistema di ispezione per wafer di micro LED che utilizza il metodo di misurazione della fotoluminescenza (PL).
- Nome del modello: C15740-01
- Dimensione del wafer supportata: 100 mm (4 pollici) o 150 mm (6 pollici) (altre dimensioni negoziabili)
- Tempo di misurazione :
- Circa 12 minuti
- (Obiettivo 10×, misurazione PL, wafer da 4 pollici)
- Lunghezza d'onda di misurazione PL: R, G, B
- Risoluzione spaziale : 1 μm/pixel (modalità standard), 0,5 μm/pixel (modalità alta risoluzione)
- Elementi di misura: Anomalia di forma, intensità PL, anomalia di lunghezza d'onda PL
- Dimensioni esterne / peso : 2000 mm (L) × 1878 mm (A) × 1130 mm (P) / Circa 1800 kg
- Camera bianca : Compatibile
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