MiNY PL è un sistema di ispezione per wafer di micro LED che utilizza il metodo di misurazione della fotoluminescenza (PL).
MiNY è un marchio registrato di Hamamatsu Photonics K.K. (Cina, UE, Giappone, Taiwan, Regno Unito).
Specifiche tecniche
Dimensioni del wafer supportate - 100 mm (4 pollici) o 150 mm (6 pollici) (altre dimensioni negoziabili)
Tempo di misurazione -
Circa 12 minuti
(Obiettivo 10×, misurazione PL, wafer da 4 pollici)
Lunghezza d'onda di misurazione PL - R, G, B
Risoluzione spaziale - 1 μm/pixel (modalità standard), 0,5 μm/pixel (modalità ad alta risoluzione)
Elementi di misura - Anomalia di forma, intensità PL, lunghezza d'onda PL
Dimensioni esterne / peso - 2000 mm (L) × 1878 mm (A) × 1130 mm (P) / Circa 1800 kg
Camera bianca - Compatibile
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