Spettrometro di massa XBS

quadripolarerapidodi acquisizione dati

Un sistema per il monitoraggio di fonti multiple in applicazioni di deposizione MBE Le sorgenti di fasci molecolari richiedono un controllo accurato per la crescita riproducibile di film sottili di qualità di produzione. Il sistema XBS (cross beam source) di Hiden fornisce il monitoraggio in-situ di più sorgenti con uscita del segnale in tempo reale per un controllo preciso della deposizione. L'XBS di Hiden è un ottimo strumento utilizzato nella spettrometria di massa a fascio molecolare. Monitoraggio e controllo MBE Studi sul fascio molecolare Analisi di sorgenti a fasci multipli RGA ad alte prestazioni Desorbimento Studi sul degassamento Cicli di bakeout Contaminanti dei gas di processo Il sistema Hiden XBS RC è uno spettrometro di massa quadrupolare progettato per il monitoraggio di più sorgenti di fascio simultaneamente, e offre in modo unico l'accettazione del fascio attraverso un cono di 70°, trasversale all'asse del quadrupolo. Le aperture di accettazione del fascio sono configurate individualmente per ogni specifica posizione della sorgente della camera di processo, prodotte come elementi plug-in sostituibili per consentire la modifica a posteriori in caso di alterazione della camera. L'alta sensibilità e la rapida acquisizione dei dati del sistema XBS forniscono segnali per il controllo dei tassi di crescita da 0,01 Angstrom al secondo. Alta sensibilità, rilevamento migliorato dal 100% a 5ppb, gamma di massa fino a 510 amu Maggiore stabilità a lungo termine (meno di ±0,5% di variazione dell'altezza in 24 ore) Sorgente ionica a fascio incrociato, accettazione del fascio a +/- 35° rispetto all'asse trasversale Controllo della sorgente ionica per la ionizzazione morbida e la spettrometria di massa a potenziale d'aspetto Maggiore sensibilità per un'elevata trasmissione di massa, Allineamento automatico della scala di massa Apertura di accettazione del fascio di 2 mm - configurata in base all'applicazione specifica dell'utente Maggiore resistenza alla contaminazione tramite lo stadio di prefiltro solo RF