RecipeDirector:
Creazione automatica di ricette CD-SEM utilizzando i dati di progettazione
DesignGauge-AnalyzerPlus:
Stazione di analisi avanzata dei dati per immagini CD-SEM
- L'utilizzo dei dati di progettazione su RecipeDirector consente di impostare automaticamente le coordinate dei punti di indirizzamento, del punto di autofocus e delle caselle del cursore di misura senza dover disporre di conoscenze specifiche
- Ciò consente di creare ricette in tempi brevi e di migliorare la disponibilità del CD-SEM
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