Sistema di rilevamento di particelle PD Xpadion

Piattaforma di ispezione di nuova generazione per soddisfare le esigenze future PD-Xpadion è l'ultima generazione della linea di prodotti HORIBA per l'ispezione delle particelle. Basato su un'innovativa piattaforma modulare, PD Xpadion è lo strumento giusto per soddisfare le esigenze attuali e future di ispezione di maschere e pellicole nei processi di litografia e produzione di maschere. L'automazione della fabbrica, combinata con una suite di tecnologie di base di HORIBA, consente agli utenti di espandere il sistema PD Xpadion per includere non solo l'ispezione e il rilevamento delle particelle, ma anche la caratterizzazione delle particelle mediante analisi Raman, lo spessore e l'uniformità del film di pellicole e gli strumenti di monitoraggio della salute delle pellicole. Caratteristiche Sensibilità di rilevamento regolabile grazie all'utilizzo di una combinazione di sistemi ottici Adattamento OHT, EFEM, multi-porta, multi-slot Possibilità di rianalizzare i dati di ispezione per una più rapida ottimizzazione delle ricette di ispezione Possibilità di integrazione con altri sensori HORIBA come la spettroscopia Raman e l'elipsometria Funzione di riduzione dei falsi rilevamenti Software innovativo con una migliore usabilità