Specchio concavo SHARPeR

di grande precisione

SHARPeR è un progetto Eurostars che mira a sviluppare una nuova piattaforma di metrologia automatizzata ad alta precisione per componenti ottici di altissima qualità, necessari ad esempio nelle linee di sincrotrone, nei sistemi di litografia EUV e nei telescopi. Gli specchi a raggi X su scala metrica saranno caratterizzati con una precisione di errore di pendenza migliore di 50nrad rms. Il sistema comprenderà tre elementi principali: - Una piattaforma di movimento altamente stabile e ripetibile con fasi di rotazione e ribaltamento della punta - Un sensore di fronte d'onda ad alta precisione con una precisione assoluta di λ/1000 rms - Un algoritmo di cucitura avanzato per risultati di alta precisione Il nuovo sensore di fronte d'onda Shack-Hartmann ad altissima precisione è integrato in una testa ottica accoppiata ad una piattaforma di movimento dedicata per fornire mappe 2D di pendenza/altezza. La superficie in prova può essere orientata orizzontalmente o verticalmente per corrispondere alla configurazione effettivamente utilizzata. I clienti possono specificare sia i campi di spostamento longitudinali (direzione di scansione) che trasversali per ampliare la gamma dell'area di caratterizzazione. Come opzione, al sistema di movimento possono essere aggiunti assi di rotazione e di ribaltamento della punta. Ciò consente all'utente di capovolgere automaticamente il componente ottico in prova senza disturbare l'ambiente di misura con interferenze manuali.