Piastra di posizionamento rotativa XY-OF-UL-350x350+ACR335UTXY2 assiopen frame
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Caratteristiche
- Orientazione
- XY, rotativo
- Numero di assi
- 2 assi
- Altre caratteristiche
- open frame, per manipolazione di wafer
- Corsa
350 mm
(13,78 in)- Velocità
400 mm/s, 800 mm/s
Descrizione
le fasi Di x-y-Rotative di profilo basso della Apr-struttura hanno progettato per il maneggiamento della cialda e molte altre applicazioni posizionanti esatte automatizzate nelle industrie manufatturiere del semiconduttore. Il meccanismo di azionamento DI X-Y situato dal lato dell'unità ed il grande centro foro-attraverso la tabella rotativa offrono una radura unobstruced l'accesso alla cialda da entrambi i lati.
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OPEN FRAME XY-ROTARY SYSTEMS
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