Preallineatore Logosol ad asse singolo "Embedded
Descrizione
I preallineatori Logosol sono soluzioni innovative di preallineamento Logosol ad alta precisione e compatibili con la classe 1, con elettronica di scansione integrata.
I preallineatori Logosol sono prodotti proprietari di Logosol, Inc. USA www.logosolinc.com
Caratteristiche
tempi di allineamento < 2,5 secondi
misurazione senza contatto tramite LED e sensore CCD
elettronica di scansione integrata
carico del mandrino
passaggio a un'altra dimensione di wafer senza ricostruzione
possibilità di allineare wafer trasparenti, semitrasparenti, forati e opachi
Specifiche per wafer piatti e con intaglio
per wafer da 3" a 12"
pannello di connessione disponibile lateralmente e dal basso
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