Pompa ad acqua CFD series

per ammoniacaper idrogenoelettrica

Questa pompa per erogazione di reagenti chimici (CFD) è progettata per la gestione di soluzioni chimiche per wafer di elevata purezza. Prodotti chimici ad elevata tensione di vapore come ammoniaca e perossido di idrogeno possono essere dosati senza problemi. L’uso di materiale fluoroplastico garantisce un elevato grado di purezza e una resistenza agli agenti chimici superiore. La possibilità di regolare la lunghezza della corsa e la frequenza del colpo consente una vasta gamma di applicazioni. L’accumulo di particelle è evitato dalle connessioni in PFA.