Sistema di marcatura laser

automaticoper waferdi vetro

Panoramica del prodotto
La Apparecchiatura di marcatura laser completamente automatica ad alta precisione di JPT è progettata per marcature automatizzate e ad alta accuratezza su vetro, resina e wafer. Il sistema integra la sorgente laser ultraveloce picosecondo JPT, il galvanometro e l'ottica di messa a fuoco per ottenere marchi fini e ripetibili con impatto termico minimo.

Vantaggi principali

• Compatibilità wafer ampia: supporta 4", 6", 8" e 12" (personalizzabile) per diverse fasi di processo.
• Elaborazione automatica su entrambi i lati: riconoscimento e marcatura automatica delle superfici anteriore e posteriore per semplificare i flussi di lavoro.
• Movimentazione automatizzata: moduli LoadPort/SMIF, rilevatori di bordo e manipolatori robotizzati per funzionamento continuo con minima interventione manuale.
• Marcatura ultraveloce picosecondo UV: marchi nitidi con area influenzata dal calore minima, preservando integrità e resa del wafer.
• Design modulare e scalabile: moduli macchina per espansione funzionale e integrazione in linee produttive.

Specifiche tecniche

• Sorgente laser: picosecondi ultravioletto
• Potenza laser: 5W / 10W
• Raffreddamento: raffreddamento ad acqua a temperatura costante
• Qualità del fascio: M2 < 1.3
• Messa a fuoco: scansione galvanometrica
• Dimensione del punto focale: < 10 μm
• Velocità massima di lavorazione: 1000 mm/s
• Precisione di lavorazione: ±20 μm
• Precisione di posizionamento: ±5 μm
• Dimensioni massime dei pezzi supportate: 4", 6", 8", 12" (personalizzabile)
• Produttività (UPH): 35–50 pezzi/ora
• Dimensioni apparecchiatura (L×P×A): 1710 × 2200 × 2200 mm
• Software di controllo: JPT

Applicazioni e settori

• Produzione di semiconduttori e wafer (settore 3C)
• Marcatura di componenti in vetro e resina
• Linee produttive automatizzate che richiedono tracciabilità

Automazione e integrazione

• Interfacce LoadPort/SMIF e integrazione con sistemi di automazione di fabbrica
• Rilevamento bordi e allineamento automatico per posizionamento affidabile
• Layout modulare per implementazione in linea o come unità stand-alone