Il robot della serie NTS può accedere a 2 e 3 FOUP di EFEM senza binario. Il sistema di azionamento appositamente progettato consente al robot di muoversi in modo incredibilmente fluido e con elevata precisione.
La serie è conforme agli standard SEMI-F47 e SEMI-S2.
Applicazioni
Manipolazione di wafer di silicio
* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.
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