Il robot della serie NTS può accedere a 2 e 3 FOUP di EFEM senza binario. Il sistema di azionamento appositamente progettato consente al robot di muoversi in modo incredibilmente fluido e con elevata precisione.
La serie è conforme agli standard SEMI-F47 e SEMI-S2.
Applicazioni
Manipolazione di wafer di silicio
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