Sistema di misurazione di temperatura SensArray®

automaticoper attrezzi

Il pacchetto di gestione dei processi in situ SensArray® Automation fornisce una rapida raccolta automatizzata delle misure di temperatura della camera degli strumenti di processo, oltre a fornire una funzionalità semi-automatica per supportare l'avvio dei processi produttivi. Il pacchetto SensArray Automation comprende la stazione di base di automazione AS1000, compatibile con tutti i prodotti SensArray wireless da 300 mm, il FOUP compatibile con il binario sopraelevato (OHT), un controllore di automazione del sistema e i componenti del software per ufficio. I FOUP SensArray possono supportare due prodotti SensArray separati per un'implementazione flessibile della fabbrica e possono essere elaborati allo stesso modo di qualsiasi FOUP di produzione, con il porting diretto dei dati ai grafici SPC. SensArray Automation consente di migliorare la produttività, aumentando la disponibilità di strumenti di processo, l'uso più efficiente delle risorse di progettazione e l'archiviazione centralizzata dei dati nel database MES della fabbrica. Applicazioni Sviluppo del processo, Qualificazione del processo, Monitoraggio degli strumenti di processo, Qualificazione degli strumenti di processo, Corrispondenza delle camere, Corrispondenza degli strumenti di processo