Sistema di misurazione di temperatura SensArray®

automaticoper attrezzi

Pacchetto di automazione per la misurazione della temperatura in situ Il pacchetto SensArray® Automation fornisce una rapida raccolta automatizzata delle misure di temperatura della camera degli utensili di processo. Il pacchetto comprende un FOUP compatibile con il binario sopraelevato (OHT), una stazione di automazione, un controllore di automazione del sistema e componenti software per PC da ufficio. Le FOUP di SensArray possono essere elaborate nello stesso modo di qualsiasi FOUP di produzione, con il trasferimento diretto dei dati ai grafici SPC. SensArray Automation fornisce miglioramenti della produttività derivanti da una maggiore disponibilità degli strumenti di processo, da un uso più efficiente delle risorse ingegneristiche e dall'archiviazione centralizzata dei dati nel database MES del fab Applicazioni Sviluppo del processo, Qualificazione del processo, Monitoraggio degli strumenti di processo, Qualificazione degli strumenti di processo, Confronto tra camere, Confronto tra strumenti di processo, Confronto tra strumenti di processo