Macchina di incisione per wafer Primaxx® Monarch 3

Il sistema di incisione al fluoruro di idrogeno in fase di vapore (VHF) Monarch 3 di Primaxx® è progettato per eseguire il rilascio selettivo dell'incisione mediante un processo di incisione anidro HF/alcool controllato. Il Monarch 3 è un modulo compatto che comprende una camera di processo a 3 wafer con un caricatore semiautomatico a 3 wafer con blocco del carico ed è progettato per i laboratori di ricerca e per gli ambienti di produzione di piccoli volumi. Un panel PC integrato, con elettronica a bordo, riduce al minimo l'ingombro in camera bianca e il sistema è stato progettato per facilitare il cambio delle dimensioni dei wafer e la manutenzione. - Compatibile con wafer da 100 mm-200 mm - Dimensione del lotto fino a 3 wafer - Sistema autonomo - L'ingombro ridotto comprende la camera di processo, il pannello gas/liquidi e i componenti di pressione/vuoto