Macchina di incisione per wafer Primaxx® Monarch 3

Il sistema di incisione al fluoruro di idrogeno in fase di vapore (VHF) Monarch 3 di Primaxx® è progettato per eseguire il rilascio selettivo dell'incisione mediante un processo controllato di incisione HF/alcool anidro. Il Monarch 3 è un modulo compatto che comprende una camera di processo a 3 wafer, con un caricatore semiautomatico a 3 wafer con blocco del carico, ed è progettato per i laboratori di ricerca e gli ambienti di produzione di piccoli volumi. Un panel PC integrato, con elettronica a bordo, riduce al minimo l'ingombro in camera bianca e il sistema è stato progettato per facilitare il cambio delle dimensioni dei wafer e la manutenzione. Incisione a rilascio MEMS Rilascio di microLED Rilascio di vapore di dispositivi RF MEMS Produzione di dispositivi RF Fotonica