Sistema di misurazione ottico Therma-Probe® 680XP
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Caratteristiche
- Tecnologia
- ottico
Descrizione
Sistemi di metrologia implantare
Il sistema metrologico Therma-Probe® 680XP per impianti ionici e ricottura consente il monitoraggio in linea della dose per i nodi di progettazione 2Xnm/1Xnm. Il Therma-Probe 680XP produce informazioni di processo critiche sulla dose e sul profilo dell'impianto ionico, sull'uniformità dell'impianto e della ricottura e sui danni di fine gamma. Inoltre, le mappe di micro-uniformità ad alta risoluzione del sistema Therma-Probe 680XP forniscono una capacità di fingerprinting per lo sviluppo dei processi di impianto e ricottura.
Applicazioni
Monitoraggio del processo, monitoraggio degli utensili
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Cataloghi
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* I prezzi non includono tasse, spese di consegna, dazi doganali, né eventuali costi d'installazione o di attivazione. I prezzi vengono proposti a titolo indicativo e possono subire modifiche in base al Paese, al prezzo stesso delle materie prime e al tasso di cambio.