Sistemi di ispezione ad alta produttività per wafer sagomati ad ampio spettro
I sistemi di ispezione per wafer sagomati della Serie 8 rilevano un'ampia varietà di tipi di difetti ad altissima produttività per una rapida identificazione e risoluzione dei problemi del processo produttivo. La Serie 8 offre un monitoraggio dei difetti economicamente vantaggioso per la produzione di chip che utilizzano substrati di silicio, SiC, GaN, vetro e altri da 150 mm, 200 mm o 300 mm, dallo sviluppo iniziale del prodotto alla produzione in serie. L'ispettore 8935 di ultima generazione impiega nuove tecnologie ottiche e tecniche di ispezione dell'area precisa DesignWise® e FlexPoint™ per rilevare i difetti critici che possono causare guasti ai chip. La tecnologia DefectWise® AI consente una rapida separazione in linea dei tipi di difetti per migliorare l'individuazione dei difetti e il binning. Grazie a queste innovazioni, l'8935 supporta l'acquisizione ad alta produttività dei difetti legati alla resa e all'affidabilità a un basso tasso di disturbo, aiutando i produttori di chip ad accelerare la consegna dei loro prodotti, in modo affidabile e a costi inferiori. Gli ispettori della Serie 8 supportano il monitoraggio dei difetti durante la produzione di un'ampia gamma di tipi di dispositivi all'avanguardia e legacy node, tra cui logica, memoria, dispositivi di potenza, LED, fotonica, dispositivi RF e MEMS. I sistemi della Serie 8 supportano anche il controllo qualità durante la produzione di lenti AR/VR e la produzione di hard disk (HDD).
Applicazioni
Monitoraggio dei processi, monitoraggio degli utensili, controllo qualità in uscita (OQC)
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