Piastra di posizionamento XYZ

linearea motore3 assi

Questo LinearMotorSystem su misura KML è stato progettato per le mansioni complesse massime del posto e del selezionamento, con cui i movimenti sono necessari in tre assi. I requisiti principali del cliente erano: dimensioni compatte alto dynamics per realizzare i tempi di ciclo corti alti sistema e ripetibilità all'interno della gamma di nanometro resistente a temperatura elevata del sistema sopra un determinato intervallo di tempo la depressione dell'esecuzione di Z-asse deve essere evitata nel caso di un guasto di tensione versione adatta della stanza pulita esecuzione della garanzia della qualità e di funzione dal fornitore Soluzione Per venire a contatto di i requisiti del concetto del prodotto catalogano la costruzione erano organizzano come segue: dimensioni geometriche speciali struttura da FEM (metodo di elementi limitati) intesa ed ottimizzata uso dei materiali compositi particolarmente rivestiti uso dei materiali adatti e/o dei rivestimenti della stanza pulita sistemi di misurazione di lunghezza a temperatura compensata motori lineari di rendimento elevato con piccola dissipazione di calore equilibrio totale magnetico nell'Z-asse Di IKO sensi lineari di precisione ultra con il materiale da otturazione del grasso della stanza pulita tenuta del pezzo da lavorare da aria appiattita e dal sistema evacuato