Unità di controllo/misura della portata massica compatta e maneggevole
gas applicabile: N₂, Aria, H₂, He, Ar, O₂, CO₂ ecc.
campo di portata: 1SCCM~20SLM
Unità compatta e maneggevole per il controllo e la misurazione del flusso, realizzata combinando un'unità di lettura compatta CR-400B e MFC/MFM.
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