-Pompa elettrica PT
Permette il controllo digitale della regolazione fine del volume di erogazione
e delle impostazioni di flusso.
-Pompa PT ad aria compressa
È ora disponibile un tipo di pompa a membrana tubolare azionata da un cilindro d'aria.
Caratteristiche
Impiega una configurazione di pompa PT (Parallel Tubephragm) che combina l'esclusivo tubo a sezione trasversale a 8 di Koganei con un soffietto.
- Non vi è alcuna parte scorrevole, quindi la generazione di particelle dovuta al funzionamento della pompa è quasi inesistente.
- Non è necessario sostituire la guarnizione della pompa a siringa né effettuare altre manutenzioni periodiche.
- La struttura consente di ridurre al minimo i residui chimici liquidi, evitando la gelificazione del materiale fotoresistente.
- Strutturato in modo da non consentire l'ingresso di aria esterna, la cristallizzazione degli elettroliti si verifica raramente.
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