Fonte di luce a lampade

UVcompattaper microscopia

Illuminazione a scarica mista di gas Hg-Xe composta da un corpo lampada con accensione e reattore integrati. Con il sistema di illuminazione LEJ Deep UV, otterrete una radiazione UV estremamente stabile grazie alla bassa deriva termica e all'alimentazione CC molto stabile del nostro reattore. - Inoltre, il nostro sistema consente una regolazione meccanica riproducibile di lampada, specchio e collettore. Pertanto, il sistema LEJ Deep-UV è adatto per l'ispezione dei wafer o per l'illuminazione durante la revisione ottica e l'analisi dei fotomaschi, in particolare delle strutture e delle larghezze di linea per individuare difetti e imperfezioni. Caratteristiche principali del prodotto nessuna deriva termica regolazione meccanica riproducibile Accensione ad alta tensione integrata Funzione di circuito di sicurezza Contatore delle ore di funzionamento Aree di applicazione Analisi delle fotomaschere Disinfezione Polimerizzazione UV