Spalmatrice automatica SE series

ad alta precisione

1. L'identico design di 795 mm degli scomparti per il vuoto consente agli utenti di cambiare liberamente la posizione della pompa, della separazione dei gas e degli scomparti per il catodo, migliorando così la flessibilità del processo. 2. Il nuovo design del dispositivo di separazione del gas evita la deriva del gas tra gli scomparti del catodo e consente di ottenere un migliore effetto di separazione del gas. 3. Il tubo di supporto in alluminio estruso fa sì che il magnete e il suo giogo siano isolati dall'acqua di raffreddamento per evitare la variazione del campo magnetico dovuta all'immersione in acqua per lungo tempo. 4. Dotato di un sistema di gas di processo ausiliario a 5-9 collettori, ognuno dei quali può essere diverso a seconda delle esigenze del processo 5. Il controllo del trasporto ad alta precisione può essere garantito da servomotori. 6. Riduzione del volume delle camere di ingresso e di uscita per migliorare l'efficienza e ridurre i costi. 7. Un coperchio catodico integrato realizza una combinazione perfetta mettendo in una "scatola" il collettore del gas, i controllori, le connessioni per l'alimentazione e i vari supporti, per rendere più flessibile la configurazione del processo. 8. Ogni catodo è dotato di un sistema di controllo indipendente. 9. Il design del coperchio in un unico pezzo può facilitare il sollevamento meccanico e idraulico, consentendo così di ottenere un migliore controllo automatico. 10. L'uso di pompe turbo-molecolari maglev avanzate e di pompe a vite impedisce l'inquinamento da olio di riflusso e lo rende più affidabile ed efficiente.