Spettrometro a raggi X 2830 ZT

WDXRFda laboratoriodi misura

L'analizzatore di wafer 2830 ZT a fluorescenza a raggi X a dispersione di lunghezza d'onda (WDXRF) offre la massima capacità di misurare lo spessore e la composizione dei film. Progettato specificamente per l'industria dei semiconduttori e dell'archiviazione dati, l'analizzatore per wafer 2830 ZT consente di determinare la composizione dello strato, lo spessore, i livelli di drogante e l'uniformità della superficie per un'ampia gamma di wafer fino a 300 mm. Il tubo radiogeno SST-mAX da 4 kW è dotato della rivoluzionaria tecnologia ZETA, che riduce drasticamente gli effetti dell'invecchiamento del tubo radiogeno. Questa prestazione da "tubo nuovo" viene mantenuta per tutta la durata di vita del tubo e, insieme all'elevata sensibilità, la tecnologia ZETA garantisce analisi rapide e tempi di misura ridotti per tutta la durata di vita del tubo. La tecnologia ZETA riduce notevolmente la necessità di correzione della deriva e di ricalibrazione, aumentando la produttività e i tempi di attività dello strumento. Tempo di attività massimizzato I tubi a raggi X convenzionali subiscono l'evaporazione del tungsteno, che causa depositi all'interno della finestra di berillio del tubo. La strumentazione che utilizza questi tubi a raggi X richiede una regolare correzione della deriva per compensare la diminuzione dell'intensità, soprattutto per gli elementi leggeri. L'implementazione del tubo SST-mAX nel 2830 ZT risolve questo problema di deriva, massimizzando il tempo di funzionamento e mantenendo la precisione dello strumento nel tempo. Facile da usare Il 2830 ZT viene fornito con il software avanzato SuperQ, che include FP Multi, il pacchetto software specificamente progettato per l'analisi multistrato. L'interfaccia utente del software garantisce che anche gli operatori meno esperti possano eseguire l'analisi completamente automatizzata dei parametri fondamentali dei multistrati.